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박진아

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원익IPS, 챔버 세정 관련 특허 취득

2013-06-17 13:46

조회수 : 2,643

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[뉴스토마토 박진아기자] 원익IPS(030530)는 비정질탄소막 증착공정에서의 챔버 세정 장치 및 이를 이용한 챔버 세정 방법에 대한 특허를 취득했다고 17일 공시했다.
 
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