테스, 기판 처리장치 관련 특허 취득

[뉴스토마토 임효정기자] 테스(095610)는 기판 처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 4일 공시했다.

 

이번 특허는 가스의 소모량을 감소시킬 수 있는 기술로, 이를 통해 신규 제품 개발 시 제품경쟁력을 강화하겠다는 계획이다.