위지트, 정전척 장치 관련 특허 취득

[뉴스토마토 김경훈기자] 위지트(036090)는 전극봉, 정전척 기판처리장치에 관한 특허를 취득했다고 18일 공시했다.

 

이번 특허는 LCD 드라이 에처(Dry Etcher) 장비의 핵심부품 중 하나인 정전척 하부전극의 전원공급에 관한 것이다.