테스, 기판처리장치 특허취득

[뉴스토마토 정세진기자] 테스(095610)는 21일 기판처리장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.

 

회사는 이 특허를 활용하면 기판의 균일한 가열과 신속한 이송 및 균일한 가스분사가 가능해져 우수한 품질의 기판을 높은 효율로 생산할 수 있다고 설명했다.