에스앤에스텍, 블랭크 마스크 관련 특허 취득

[뉴스토마토 김혜실기자] 에스앤에스텍(101490)은 블랭크 마스크 및 포토마스크에 대한 특허를 취득했다고 31일 공시했다.

 

이번 특허는 투명 기판, 위상반전막, 금속막 및 레지스트막이 순차적으로 적층돼 블랭크 마스크를 형성하게 하는 기술이다.