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이한승

기술 이전받은 中企, 반도체 공정 SW 국산화 성공

경원테크, 플라즈마 기술 이전받아 삼성전자에 공급

2013-08-13 11:30

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[뉴스토마토 이한승기자] 미래창조과학부는 국가핵융합연구소로부터 플라즈마 기술을 이전받은 경원테크가 반도체 핵심 제조공정에 필요한 소프트웨어의 국산화에 성공해 삼성전자에 공급한다고 밝혔다.
 
K-Speed는 플라즈마를 사용하는 반도체 식각 및 증착공정을 시뮬레이션하는 소프트웨어인데, 경원테크는 핵융합(연), 표준(연), 전북대, 부산대 등과 산학연협력 연구를 통해 K-Speed 개발에 성공했다.
 
이어 최근 삼성전자(005930) 반도체연구소와 성능평가를 완료하고 소프트웨어 공급계약을 체결하게 됐다.
 
K-Speed 개발 성공으로 반도체 공정해석 기술의 본격적인 국산화가 가능하게 돼 외국에 의존하고 있는 핵심기술의 한계를 극복할 수 있을 것으로 기대된다.
 
미래부는 K-Speed 개발 성공이 정부 출연(연)의 기초연구과정에서 얻은 파생기술과 학계의 기초연구 역량을 바탕으로 중소기업 기술 지원 노력을 통해 산업화에 성공한 산학연 협력의 성과라고 강조했다.
 
아울러 K-Speed는 향후 다수의 국내외 기업으로의 판매가 예상되며, 경원테크는 K-Speed 판매로 200억원 이상의 매출을 목표로 하고 있다고 덧붙였다.
 
서광원 경원테크 대표는 "출연(연)과 지속적인 연구협력으로 국내외 반도체 공정해석 소프트웨어 시장에 진출할 수 있게 됐다"며, "향후 반도체 공정에 사용하는 다양한 복합가스 모듈, 플라즈마 화학반응 모듈 등이 장착되는 시뮬레이터 기술을 핵융합(연)에서 이전받아 추가적인 현장 맞춤형 반도체 공정 소프트웨어 개발을 통해 국산화 기술 확보 및 세계 시장 진출 등에 노력할 것"이라고 말했다.
 
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