테스, 기판처리시스템 압력제어방법 특허취득

[뉴스토마토 곽보연기자] 테스(095610)는 기판처리시스템의 압력제어방법과 관련해 특허를 취득했다고 3일 공시했다.

 

테스는 이번 특허를 통해 "장비 제조시 특허기술을 적용해 제품경쟁력을 강화할 계획"이라고 밝혔다.