테스, 인젝터 모듈 장치 특허권 취득

[뉴스토마토 이경주기자] 테스(095610)는 인젝터 모듈과 이를 사용하는 플라즈마 반응 장치에 관한 특허권을 취득했다고 21일 공시했다.

 

회사 관계자는 "챔버 내부로 유입되는 공정 가스가 원하지 않는 곳으로 유동하는 것이 저지돼 균일한 박막 형성과 공정 가스의 불필요한 소모를 줄일 수 있는 장치"라고 밝혔다.