[뉴스토마토 이나연기자]
테스(095610)는 23일 반도체 제조용 샤워헤드와 이 샤워헤드를 구비한 반도체 제조장치에 관한 특허를 취득했다고 공시했다.
이번 특허는 반도체 제조용 샤워헤드에 관한 것으로, 외부로부터 샤워헤드 내부로 공급된 공정가스에 와류가 발생되는 것이 방지되고 공정가스가 하방으로 균일하게 분사될 수 있도록 구조가 개선되는 이점이 있다고 회사측은 설명했다.
회사측은 "장비 제조시 특허기술 적용을 통한 기술과 원가경쟁력을 강화할 수 있을 것"이라고 밝혔다.