테스, 가스분사장치 관련 특허 취득

[뉴스토마토 송지욱기자] 테스(095610)는 13일 가스분사장치와 이와 관련된 공정 챔버의 특허를 취득했다고 공시했다.

 

이번 특허는 가스 분사판의 열변형을 방지하고 증착 균일성을 향상시킬 수 있으며, 향후 태양전지 제조장치에 사용될 예정이다.