원익IPS, 박막증착장치 특허 취득

[뉴스토마토 조필현기자] 원익IPS(030530)는 28일 원료가스 및 퍼지가스를 순차적으로 공급해 박막이 증착되도록 하는 가스분사조립체를 적용한 박막증착장치 특허권을 취득했다고 공시했다.