원익IPS, 복수기판 처리장치 특허 취득

[뉴스토마토 강은혜기자] 원익IPS(030530)는 복수기판 처리장치에 관한 특허를 취득했다고 10일 공시했다.

 

회사측은 이번 특허에 대해 "공간분할 ALD(원자층 증착) 처리장치에서 가스를 균일하게 분사하기 위해 복수 가스 분사부에 대한 기술"이라고 설명했다.

 

또 "향후 자사 반도체 장비의 경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 밝혔다.