참엔지니어링, 기판, 불량 감소기술 관련 특허

[뉴스토마토 이지영기자]참엔지니어링(009310)은 기판의 오염이나 불량을 감소시키는 기술에 관한 특허를 취득했다고 30일 공시했다. 회사 측은 "본 특허기술을 활용해 기판의 수율이 증가할 수 있다"고 설명했다.