테스, 인라인 기판처리시스템·로드락챔버 특허 취득

[뉴스토마토 최승환기자] 테스(095610)는 15일 인라인 기판처리시스템과 로드락챔버 관련 특허를 취득했다고 공시했다.

 

회사 측은 이번 특허로 로드락챔버의 압력을 변경해야 하는 과정을 생략해 공정 시간을 단축할 수 있고, 인라인 기판처리 시스템의 생산효율이 향상되는 효과가 있다고 설명했다.

 

또 앞으로 장비 제조시 특허기술 적용해 제품경쟁력 강화하는데 활용할 계획이라고 덧붙였다.