원익IPS, 박막증착장치 관련 특허 취득

[뉴스토마토 이지영기자] 원익IPS(030530)는 박막증착장치 관련 특허권을 취득했다고 16일 공시했다.

 

회사 측은 "다수의 반응공간부의 기판 지지부를 동일한 승강유닛을 통해 승강하게 해 생산성 향상 및 원가 절감 효과가 있다"며 "향후 반도체 장비의 경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 밝혔다.