테스, 박막증착장치 특허권 취득

[뉴스토마토 김병윤기자] 테스(095610)는 7일 박막증착장치 관련 특허권을 취득했다고 공시했다.

 

테스 측에 따르면 이번 특허는 디스플레이 장비에 적용되는 기술로 여러개의 기판을 동시에 이동시키면서 복수개의 가스공급부에 의해 가스를 공급해 기판 처리량(throughput)을 향상시킬 수 있다.

 

테스는 이번 특허기술을 적용해 제품경쟁력을 강화시킬 계획이다.