STS반도체, 포토레지스트 베이크 장치 특허 취득

STS반도체(036540)가 포토레지스트 베이크 장치 관련 특허를 취득했다고 12일 공시했다.

 

회사측으 "이번 발명에 따라 반도체 범핑 공정의 핵심기술인 포토리소그래피 공정의 제조경쟁력을 극대화할 예정"이라고 설명했다.

 

김미연 기자 [e-mail]