로체시스템즈, 기판 가공장치 관련 특허권 취득

[뉴스토마토 박진아기자] 로체시스템즈(071280)는 정전척 및 이를 갖는 기판 가공 장치와 관련한 특허권을 취득했다고 31일 공시했다.