참엔지니어링, 플라즈마 처리 특허권 취득

[뉴스토마토 이종용기자] 참엔지니어링(009310)은 24일 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다. 회사측은 이번 특허 기술을 활용해 반도체 생산 공정 장비의 경쟁력을 강화하겠다고 밝혔다.