[뉴스토마토 서유미기자]
3S(060310)(삼에스코리아)가 전면개방통합포드(FOUP) 관련 부품기술이 한국산업기술진흥협회로부터 제 2회 신기술(NET) 인증을 획득했다고 29일 밝혔다.
인증된 기술은 공정내 웨이퍼운송용기(FOUP)에 적용되는 기술로 기존 FOUP 내부 잔류 가스를 빼내기 위해 질소를 투입하던 방식을 개선한 것이다.
특히, 분산토출 유도로를 통해 신속하게 질소 충전이 되도록 한 점이 특징으로 이전 기술대비 30% 이상 시간이 단축되고 FOUP 청정도 향상에 따른 불량 감소와 반도체 생산 수율 향상 등이 가능해진 신기술이다.
NET인증은 산업통상자원부 산하 기술표준원에서 발급하는 인증으로, 인증여부에 따라 기술보증기금을 통해 기술금융지원을 받을 수 있는 자격이 주어진다.
삼에스코리아는 "이번 인증을 통해 웨이퍼 캐리어 설계에서 선도 단계에 접어들었다"라며 "웨이퍼 캐리어 제조사 입지를 확고히 할 수 있을 것"이라고 기대됐다.