상아프론테크, 웨이퍼 캐리어 관련 특허권 취득

[뉴스토마토 손지연기자] 상아프론테크(089980)는 8일 웨이퍼 캐리어용 클로징 도어 관련 특허권을 취득했다고 공시했다.

 

본 특허권은 반도체 제조공정에서 웨이퍼를 이송하는 용기인 웨이퍼 캐리어의 도어가 비의도적으로 개방됨을 방지하는 것이다.