탑엔지니어링, 플라즈마 처리장치 특허권 취득

[뉴스토마토 원나래기자] 탑엔지니어링(065130)은 플라즈마 데미지 프리 스퍼터 건 및 이를 구비한 스퍼터 장치와 이를 이용한 플라즈마 처리장치 및 성막 방법 등의 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.