로체시스템즈, 멀티핑거로봇 특허 취득
입력 : 2011-01-25 15:01:34 수정 : 2011-06-15 18:56:52
[뉴스토마토 유혜진기자] 로체시스템즈(071280)는 멀티핑거로봇의 특허를 취득했다고 25일 공시했다.
 
로체시스템즈는 "이 특허는 각각의 핑거들에 의해 푸웁 내부의 웨이퍼를 이송 및 반송시키는 과정에서 웨이퍼들을 자동 정렬시켜 위치 정도를 높임으로써 처리 속도를 향상시키는 효과를 갖는다"고 밝혔다.
 
뉴스토마토 유혜진 기자 violetwitch@etomato.com

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