[뉴스토마토 김소연기자]
에코프로(086520)는 28일 반도체 공정 등에서 사용되는 과불화 화합물을 촉매 방식으로 처리하는 처리장치 및 방법에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.
회사 측은 이번 특허를 과불화화합물(PFC Gas)을 사용하는 국내외 반도체 및 LCD 업체용 대형 설비제작에 적용하고 해당 가스를 이용하는 기업체 및 연구소 실험실등에 활용할 계획이다.
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