[뉴스토마토 김보선기자] 원익IPS(030530)는 '하부주입 RPG 세정용 공정 챔버' 특허권을 취득했다고 3일 공시했다. 이 특허는 공정 챔버 하부를 세정하기 위해 별도의 세정가스 분사부를 갖는 공정 챔버에 관한 것으로, 회사측은 이를 반도체 장비에 적용할 예정이다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 증권계좌대비 300%, 연 2.6% 토마토스탁론 바로가기 김보선 김보선 기자의 최신글 뉴스카페 (보험사 혁신로드맵)①날씨·도난·동물보험…소액단기보험사 설립 추진 (영상)금융지주 주총 임박…CEO 연임·주주달래기 화두로 박성호 부행장, 차기 하나은행장 단독후보 추천 (금융사가 찾는 인재상)④케이뱅크 "전문성 갖고 협업 능숙한지 살필것" (금융사가 찾는 인재상)③신한은행 "디지털 시대 새 솔루션 제시할 수 있나요?" 관련 기사 더보기 동북아11호, 주당74.79원 수입분배 한라건설, 정몽원 회장 4000주 매수 국제엘렉트릭, 삼성전자와 200억 공급계약 일성건설, 636억 고속도로 공사 수주 한림창투, 조건부 등록취소 유예 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음 필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기