테스, 박막 증착장치 관련 특허
입력 : 2013-12-26 14:09:37 수정 : 2013-12-26 14:09:37
[뉴스토마토 이지영기자] 테스(095610)는 박막 증착장치와 관련한 특허권을 취득했다고 26일 공시했다.
 
회사 측은 "이번 특허는 기판 표면에 증착이 균일하게 이루어지도록 하며 리모트플라즈마 방식으로 제공하여 기판의 손상을 방지하면서 우수한 품질의 박막을 제공할 수 있다"고 밝혔다.
 
 

ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지


증권계좌대비 300%, 연 2.6% 토마토스탁론 바로가기


  • 이지영