[뉴스토마토 이한승기자] 원익IPS(030530)는 지난 2일 가스분사 장치 및 이를 구비하는 기판 처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 3일 공시했다. 회사는 이 특허가 반도체 제조 장치 중 가스분사 장치에서 공급되는 공정 가스의 흐름을 원활하게 하고 파티클 발생을 억제하기 위한 기술이라고 설명했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 증권계좌대비 300%, 연 2.6% 토마토스탁론 바로가기 이한승 이한승 기자의 최신글 뉴스카페 관련 기사 더보기 IT株가 FOMC 충격 제일 많이 받았다 우리금융 "KB금융과의 합병, 추진하지 않고 있다" 스카이라이프, 2분기 영업익 162억..전년比 70%↑ (종목Plus)투비소프트, 2분기 깜짝 실적에 이틀째 ‘↑’ 파라다이스, 2분기 영업익 242억..전년比 79%↑ 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음 필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기