[뉴스토마토 조아름기자] 테스(095610)는 대면적 기판 처리 장치에 대한 특허권을 취득했다고 28일 공시했다. 이 장치는 기판의 대면적화에 따른 반응 챔버의 공간적 제약을 제거할 수 있다. 테스는 "이번 특허기술 적용으로 신규장비 경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 증권계좌대비 300%, 연 2.6% 토마토스탁론 바로가기 조아름 조아름 기자의 최신글 뉴스카페 관련 기사 더보기 테스, 플라즈마 발생 모듈 관련 특허 취득 일·가정 균형 맞추는 기업, 거래소에 공시한다 백혈병치료제 '글리벡' 내달 특허 만료..복제약 출격준비 완료 나라케이아이씨, 70억 규모 유상증자 결정 마크로젠, 1분기 매출 108억..전년比 19%↑ 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음 필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기