[뉴스토마토 이지은기자]
원익QnC(074600)는 23일 화학기상 증착용 쿼츠 지그의 표면 처리 방법, 쿼츠 지그의 표면 처리용 조성물 및 그에 의해 제작된 쿼츠 지그에 대한 국내 특허를 취득했다고 공시했다. 이는 반도체 CVD공정에서 장시간 사용에 따라 발생하는 박막의 박리 억제를 통해 파티클을 저감시켜 불량률을 줄일 수 있는 기술이다.
이지은 기자 jieunee@etomato.com
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