[뉴스토마토 김도엽기자] 테스(095610)는 기판 반송용 블레이드와 이를 구비하는 기판 반송 장치 특허를 취득했다고 1일 공시했다. 테스는 "블레이드와 기판(웨이퍼)의 접촉 면적을 최소화 할 수 있어 기판과 블레이드 사이 접촉에 따른 파티클 발생을 최소화할 수 있다"고 설명했다. 뉴스토마토 김도엽 기자 ironical16@etomato.com - Copyrights ⓒ 뉴스토마토 (www.newstomato.co.kr) 무단 전재 및 재배포 금지 - ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 증권계좌대비 300%, 연 2.6% 토마토스탁론 바로가기 김도엽 김도엽 기자의 최신글 뉴스카페 관련 기사 더보기 참엔지니어링, 디스플레이 패널 수리 관련 특허 취득 안철수연구소, 이동식디스크 통한 악성 프로그램 차단 특허 (오늘場 한줄전략)펀더멘털 훼손은 없다 오텍, 장애인용 차량관련 특허 취득 웅진케미칼, 광학필름과 백라이트 유닛 특허 취득 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음 필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기