[뉴스토마토 조아름기자] 원익IPS(030530)는 박막 증착 방법에 관한 국내 특허권을 취득했다고 7일 공시했다. 이 기술은 ALD 방식보다 증착 속도가 향상된 싸이클릭-CVD 방식의 TiAlN 증착 방법에 관한 것이다. 원익IPS는 "해당 기술을 반도체 장비의 경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 밝혔다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 증권계좌대비 300%, 연 2.6% 토마토스탁론 바로가기 조아름 조아름 기자의 최신글 뉴스카페 관련 기사 더보기 티에이치엔, 지난해 영업이익 59억..전년比 56.4% ↑ 알파칩스, 지난해 영업이익 30억..전년比 53.3% ↑ 파워로직스, 자회사에 114억 금전대여 데코네티션, 지난해 영업손실 31억..적자 지속 세하, 지난해 영업손실 86억..적자 지속 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음 필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기