[뉴스토마토 이지은기자] 테스가 반도체 소자의 갭필 방법에 관한 특허권을 취득했다는 소식에 상승세다.
14일 오후 12시49분 현재
테스(095610)의 주가는 전거래일 보다 300원(2.45 %) 오른 1만2550원에 거래 중이다.
이 특허 기술은 공정원료 가스에 산소를 포함시키는 경우나 오버행 현상에 의해 갭 패턴에 보이드(void)가 생성되는 것을 감소시키는 것으로 알려졌다.
회사측은 "장비 제조시 특허기술 적용으로 제품 경쟁력을 강화할 것"이라고 설명했다.
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