[뉴스토마토 박상정기자] 주성엔지니어링(036930)은 5일 액정표시장치용 박막증착장치에 대한 특허를 취득했다고 밝혔다. 이 장치는 FPD(Flat Panel Display)와 태양전지 장비에 사용되는 반응 챔버에서 열적 변형을 방지하고 박막의 두께 균일도를 향상 시킬 수 있는 가스분사장치다. 뉴스토마토 박상정 기자 aurapsj@etomato.com - Copyrights ⓒ 뉴스토마토 (www.newstomato.co.kr) 무단 전재 및 재배포 금지 - ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 증권계좌대비 300%, 연 2.6% 토마토스탁론 바로가기 박상정 쉽게 증시를 풀어주는 쉬.운.여.자 박상정 기자의 최신글 뉴스카페 (마감전업앤다운)삼본정밀화학▲보타바이오▼ 관련 기사 더보기 外人, KT&G·한국전력·KT 등 순매수 신재생에너지테마 2차랠리 시작(?) (종목Plus)반도체장비업체 '들썩'..기술유출 '반사익' 반도체장비업체, 삼성전자 기술 유출 '반사이익' 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음 필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기