[뉴스토마토 김보선기자] 테스(095610)는 가스 공급 플레이트와 이를 포함하는 플라즈마 발생장치에 관한 특허권을 취득했다고 22일 공시했다. 테스는 "이 특허를 통해 사다리형 전극의 형상이 증착막에 전사되는 것을 방지하고, 고주파수에서 선형전극부의 임피던스가 감소되는 효과를 볼 수 있다"고 설명했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 증권계좌대비 300%, 연 2.6% 토마토스탁론 바로가기 김보선 김보선 기자의 최신글 뉴스카페 (보험사 혁신로드맵)①날씨·도난·동물보험…소액단기보험사 설립 추진 (영상)금융지주 주총 임박…CEO 연임·주주달래기 화두로 박성호 부행장, 차기 하나은행장 단독후보 추천 (금융사가 찾는 인재상)④케이뱅크 "전문성 갖고 협업 능숙한지 살필것" (금융사가 찾는 인재상)③신한은행 "디지털 시대 새 솔루션 제시할 수 있나요?" 관련 기사 더보기 테스, 28.6억 규모 반도체 제조장비 공급계약 테스, 진공증착장치 특허권 취득 테스, 30억 단일판매·공급계약 체결 테스, 39억원 반도체 제조장비 공급 계약 테스, 태양전지 제조법 특허권 취득 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음 필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기