[뉴스토마토 박진아기자] 테스(095610)는 반도체 장비에 적용되는 기판처리방법 관련 특허권을 취득했다고 2일 공시했다. 회사 측은 "공정시간과 기판의 회전속도가 가변되더라도 기판의 회전속도를 제어해 기판의 전체 영역에서 균일한 공정처리가 이루어질 수 있는 효과를 얻을 수 있다"고 설명했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 증권계좌대비 300%, 연 2.6% 토마토스탁론 바로가기 박진아 지금 이 순간, 정확하고 깊이있는 뉴스를 전달하겠습니다. 박진아 기자의 최신글 뉴스카페 60대 이상 사장님 '폭증'…'노후 빈곤' 그늘 고용부, 신규화확물질 110종 유해·위험성 공표 2년간 86조 '세수펑크'에도…답 없는 정부 전국 튜닝카 한자리에…'2024 코리아 튜닝카 페스티벌' 열린다 최상목 "내수 부진 무거운 책임감…일반주주 보호 방안 검토" 관련 기사 더보기 이글루시큐리티, 카메라 광학축 동기화 방법 관련 특허 취득 동성화인텍, 대우조선해양과 157억 규모 공급계약 SK "SK C&C 합병 추진설, 사실 아니다" 피앤텔, 휴메릭 보통주 40만주 무상감자 자연과환경, 유상증자 최종발행가액 1290원 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음 필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기