주성엔지니어링, 플라즈마 특허권 취득

[뉴스토마토 박남숙기자] 주성엔지니어링(036930)은 12일 중국에서 플라즈마 식각장치 특허권을 취득했다고 공시했다.

  

회사측은 "이번 발명은 대기압 근처에서 플라즈마를 발생시켜 기판 단부의 막질을 제거할 수 있는 플라즈마 식각 장치"라고 설명했다. 

 

주성엔지니어링은 이 특허를 반도체와 디스플레이, 태양전지 장치 경쟁력 강화에 사용할 계획이라고 밝혔다.

 

뉴스토마토 박남숙 기자 [e-mail]

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